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• 作者：沃晟微
• 来源：沃晟微
• 发布时间：2022-03-25 16:47
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【概要描述】     超薄石英微带电路        薄膜微带电路广泛应用于星载微波有源分机，随着卫星应用频段的不断提高和应用领域的不断开拓，开发用于毫米波、太赫兹(THz)频段的微带电路制作技术势在必行。THz频段是指典型频率范围在0.1THz~10THz(波长3mm~30um)的频带范围，在长波段与毫米波相重合，在短波段与红外光相重合，是电子学向光子学的过渡区，被称为电磁波谱的“THz空隙”。        THz在通信、雷达、特征频谱检测等领域具有巨大的应用潜力，与V波段、E波段高速毫米波无线通信相比，THz通信带宽优势明显，可达到极高通信速率;与自由空间光通信系统相比，THz频段波长远小于光波长，受烟尘、云雾、信号对准等问题的影响要小得多。THz等高频段应用要求微波电路基板材料有稳定的介电常数、低的损耗以及良好的化学稳定性。可供微波薄膜电路应用的介质材料种类较多，但大都只能应用于几十GHz，其中，石英基板在高频段表现出优良性能。石英材料从20世纪50年代开始就被美国军方用作导弹的天线罩及天线窗，从1963年以后开始产业化生产。       石英具有平整度高、热稳定性好、热膨胀系数小、介电常数低、耐酸碱腐蚀性强、电绝缘性好等物理特性及电学特性，自出现以来讯速在耐火材料和结构材料应用中得到推广，其应用领域涉及到航空航天、军事导弹及雷达、微波天线、钢铁冶炼、玻璃制造等多个领域，是一种很有发展潜力的基板材料。但石英材料属干硬脆性材料，具有脆性高、断裂韧性低、材料的弹性极限和强度非常接近等特性，这些问题给电路加工带来了诸多不便。